蒸發(fā)金主要用于制造半導體器件用芯片時的背層金屬鍍層。它是一種貴金屬材料,通過特定的工藝沉積在半導體芯片表面,形成金屬-半導體歐姆接觸膜。蒸發(fā)金材料的應用不僅限于軍事和民用微波通信器件,如MIMO天線,還包括航天航空等重要領域使用的高轉化率半導體化合物芯片,如GaN等。蒸發(fā)金的制備和應用不僅限于金,還包括金與其他元素的合金,如純金、金鍺、金鍺鎳、金鈹、金鎵、金錫等合金顆粒及濺射靶材。這些材料通過特定的工藝沉積在氮化鎵、砷化鎵、磷化鎵等半導體芯片表面,對于提升半導體器件的性能和可靠性至關重要。
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